飛秒激光以其獨(dú)特的超短持續(xù)時(shí)間和超強(qiáng)峰值功率開(kāi)創(chuàng)了材料超精細(xì)、低損傷和空間三維加工處理的新領(lǐng)域,而且應(yīng)用越來(lái)越廣泛。
對(duì)金屬材料的加工應(yīng)用。對(duì)一般金屬來(lái)說(shuō),由于具有很高的熱導(dǎo)性和較高的熔點(diǎn)溫度,在其表面實(shí)現(xiàn)高精度和高質(zhì)量的鉆孔和切割有很大的困難。用傳統(tǒng)的紅外波長(zhǎng)激光切割不銹鋼板料,邊緣凹凸不平,表面有溶渣,這是因?yàn)椴牧先コ峭ㄟ^(guò)熔化和蒸發(fā)獲得的。由于汽化過(guò)程的反沖壓力,導(dǎo)致了液相材料的向外膨脹,從而造成環(huán)繞加工位置邊緣“冠狀物”的存在,因而大大降低了加工質(zhì)量和清潔度。而用飛秒激光切割,切縫的邊緣整齊,金屬表面沒(méi)有材料熔化的痕跡。飛秒激光精密成形技術(shù)已在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴的成形生產(chǎn)中得到了應(yīng)用,用飛秒激光精密成形微孔技術(shù)已替代了原先電火花加工工藝,孔的清潔度得到大大提高。
對(duì)非金屬材料的加工應(yīng)用。對(duì)非金屬材料加工中使用納秒級(jí)脈沖時(shí),  由于熱擴(kuò)散,在照射區(qū)的外側(cè)會(huì)形成熔融相,因此用它加工石英和玻璃等光學(xué)材料時(shí)的一個(gè)大問(wèn)題就是由于熔融相造成的熱應(yīng)力將會(huì)在加工小孔的周圍產(chǎn)生裂縫。傳統(tǒng)的紅外波長(zhǎng)的激光對(duì)大多數(shù)透明的玻璃甚至根本無(wú)法加工,飛秒激光的出現(xiàn),使這一問(wèn)題得到了很好的解決。
對(duì)透明材料的加工應(yīng)用。在透明材料中的應(yīng)用主要指制造光纖通信器件。用飛秒激光器可以在工件內(nèi)部進(jìn)行加工,而且不損傷材料表面,因此可以通過(guò)改變晶體的折射率,實(shí)現(xiàn)透明晶體內(nèi)部形成光波導(dǎo)或在光纖內(nèi)實(shí)現(xiàn)折射,并且可以實(shí)現(xiàn)三維激光存儲(chǔ)。此外還可以對(duì)光子晶體、藍(lán)寶石、金剛石、水晶等進(jìn)行加工制作。
對(duì)半導(dǎo)體材料的加工應(yīng)用。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料加工是采用激光照射,利用材料的應(yīng)變,并以熱變質(zhì)的方式達(dá)到實(shí)用化。而采用飛秒激光器加工材料不僅使材料表面幾乎沒(méi)有熱變質(zhì)層,而且也避免了由熱變質(zhì)引起的材料損傷,可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的加工。
 
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