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羅茨真空機組的羅茨旋片真空機組是以羅茨泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。羅茨旋片真空機組選用旋片泵作為前級泵，它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，同時保留了羅茨泵能迅速工作，有較大抽氣速率的優(yōu)點。 因該機組結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，可以代替多臺機械真空泵,因此羅茨泵 旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的以及不含有顆粒塵埃的氣體。


羅茨真空機組在一般工況條件下，羅茨泵和旋片泵串聯(lián)組成的機組最多可以為三級(二臺羅茨泵和一臺旋片泵)，其極限壓力可以提高一個數(shù)量級，即進入10 1Pa，但要獲得更高的極限真空，再增加羅茨泵效果則不明顯。與前級同為機械泵的其它類型機組相比，本型號機組體積小，重量輕，噪聲低，真空度高。適合于抽除無腐蝕性、對泵油不起化學(xué)反應(yīng)的潔凈氣體，在氣鎮(zhèn)條件下，也可抽除少量可凝性氣體。機組既可以作為主抽氣設(shè)備，又可以作為更高真空獲得設(shè)備(如擴散泵)的前級或預(yù)抽設(shè)備，廣泛應(yīng)用于真空冶煉，鋼液脫氣、真空干燥、真空浸漬、真空絕熱、真空濃縮、真空脫色及脫臭、電光源及保溫瓶膽的排氣等。

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