石墨舟裝片房
設備概述:本設備是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套,裝取硅片,配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求.
石墨舟裝片房設備特點:
能保證與PECVD石墨舟承載車準確定位;
采用不銹鋼制造,整機結構堅固可靠;
采用GK系列高效空氣過濾器3只;
PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度;
凈化風機噪音小于50dB;
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