溫州馳誠(chéng)真空機(jī)械有限公司

CCZK-ION多弧離子PVD鍍膜設(shè)備——馳誠(chéng)

CCZK-ION多弧離子PVD鍍膜設(shè)備——產(chǎn)品信息

特征描述:

馳誠(chéng)CCZK-ION多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種鍍膜技術(shù)，將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領(lǐng)域，整個(gè)氣相沉積過程都是在等離子體中進(jìn)行的。 

全SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼機(jī)身，隱藏式雙層冷卻水套設(shè)計(jì) 

合理配備多套最新研制的離子弧源，有效保障弧源濺射的穩(wěn)定性與均勻性 

采用先進(jìn)的多路進(jìn)氣系統(tǒng)，精準(zhǔn)控制氣體流量，滿足您多種化合物膜層需求。 

裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優(yōu)秀的膜層結(jié)合力和光潔度 

采用馳誠(chéng)創(chuàng)新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證； 

技術(shù)配置

腔體結(jié)構(gòu):    立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統(tǒng) 

材質(zhì)用料:    腔體采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼材質(zhì) 

離子弧源:    依據(jù)設(shè)備大小不同配備多套弧電源系統(tǒng) 

偏壓電源:    配備大功率單級(jí)脈沖偏壓電源 

多弧靶材:    標(biāo)配多套鈦靶或不銹鋼靶材 

轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):  變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可采用上傳動(dòng)或下傳動(dòng)方式 

真空系統(tǒng)（裝飾鍍膜設(shè)備Decorative  coating）:擴(kuò)散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)（可選） 

真空系統(tǒng)（超硬質(zhì)工具鍍膜Tooling  coating）:分子泵+羅茨泵+直聯(lián)泵（進(jìn)口）+維持泵+可選深冷泵 

氣體控制:    多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 

加熱系統(tǒng):    裝飾鍍膜350℃溫控PID可調(diào)可控制，    超硬質(zhì)工具鍍膜550℃溫控PID可調(diào)可控。 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)邏輯全自動(dòng)控制 

報(bào)警及保護(hù):異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。 

其他技術(shù)參數(shù)： 

極限真空：  5.0×10-4Pa 

抽氣速率：  5.0*10-2≤5min 

水壓流速≥0.2Mpa  3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa； 

備注: 

一般規(guī)格： 

      Φ1000*H1200，Φ1400mm*H1600mm，Φ1200mm*H1500mm，

      Φ1800mm*H2000mm，  Φ2000mm*H2200mm 

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

多弧離子鍍膜機(jī)：http://www.zhongk.com/duohulizi/

真空鍍膜機(jī)：http://www.zhongk.com/

真空鍍膜設(shè)備：http://www.zjcczk.com/

鍍膜設(shè)備:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-ION多弧離子PVD鍍膜設(shè)備——廠家信息

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