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[供應(yīng)]深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機
- 產(chǎn)品產(chǎn)地：深圳市龍華新區(qū)大浪街道華昌路鴻源工業(yè)區(qū)E棟一樓
- 產(chǎn)品品牌：威固特
- 包裝規(guī)格：VGT-15204FST
- 產(chǎn)品數(shù)量：2
- 計量單位：套
- 產(chǎn)品單價：0
- 更新日期：2018-07-16 11:02:51
- 有效期至：2019-07-16
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深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機
詳細信息
型號：VGT-15204FST
產(chǎn)品特點：
1、械手或多機械手組合，實現(xiàn)工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。
3、自動上下料臺，準確上卸工件。
4、凈化烘干槽，獨特的烘干前處理技術(shù)，工作干燥無水漬。
5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
6、具備拋動清洗功能，保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。
8、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
應(yīng)用范圍：
1、爐前清洗：擴散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘渣。
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。
8、擴散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污
技術(shù)參數(shù)：
超聲波功率：10.2KW
超聲波頻率：28，40，60KHZ
換能器數(shù)量：204個
電源電壓：220V
技術(shù)優(yōu)勢：
硅片晶圓生產(chǎn)清洗工藝中，使用超聲波清洗機有效去除硅片晶圓表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。清洗硅片晶圓同時也采用了：三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業(yè)；第三代最新技術(shù)，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落；獨特的硅片干燥前處理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕；成熟的硅片干燥工藝，多種先進技術(shù)集于一身。
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