隨著衛(wèi)星技術(shù)的發(fā)展,對溫補(bǔ)振蕩器的要求越來越高,特別是壓控制調(diào)頻特性、振動相噪、老化率等方面提出了新的要求,主要研制的課題就是研制出符合高頻壓控溫補(bǔ)晶體的需求的AT切三次泛音晶體諧振器。
晶片的外形尺寸:
了解到在實(shí)際加工過程中,晶片研磨工藝對泛音晶體的C0/C1值影響非常大,特別是晶片表面的光潔度、平整度。
研磨工藝:
常用的電極材料有金、銀、鋁三種。
就電極而言,化學(xué)性能穩(wěn)定,在常溫空氣中不易氧化,硫與鹵化物(氟、氯、溴、碘)等都能強(qiáng)烈的浸蝕銀,導(dǎo)致晶片表面電極發(fā)黃、發(fā)白。
對于石英振子的表面狀態(tài)來說,一個(gè)是晶片表面質(zhì)量,一個(gè)電極層的表面質(zhì)量,對于拋光片來說,除了正常的研磨、腐蝕、拋光等工藝控制外,特別主要清洗及凈化間、鍍膜、機(jī)蒸鍍環(huán)境控制。
清洗:
盡管是拋光片也要進(jìn)行適量腐蝕,以清除晶片表面雜質(zhì)。
超聲波清洗機(jī)中的“噴淋漂洗槽”:
槽體結(jié)構(gòu):
形式:
超聲波清洗機(jī)之“清洗原理”:
當(dāng)超聲波作用于液體中時(shí),液體中每個(gè)氣泡的破裂會產(chǎn)生能量極大的沖擊波,相當(dāng)于瞬間產(chǎn)生幾百度的高溫和高達(dá)上千個(gè)大氣壓,這種現(xiàn)象被稱之為“空化效應(yīng)”,超聲波清洗正是利用液體中氣泡破裂所產(chǎn)生的沖擊波來達(dá)到清洗和沖刷工件內(nèi)外表面的作用。
超聲波清洗機(jī)存在的優(yōu)勢:
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