清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實用標簽。但在實際的干式真空泵應用中,干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中,并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性,而是需要通過過濾設備來予以解決。此外即使是對顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵,我們?yōu)榉乐挂馔?,也需要盡量避免介質在真空泵泵內由于化反或氣固變相形成顆粒物。
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